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【圧縮機内蔵】	[内蔵圧縮機相当出力]	99.0％	99.9％	99.99％	99.999％
小型 NH･TPシリーズチッソメイトＳＮⅡ チッソメイトＳＮ	[オイルフリー：0.3～1.5kW] [オイルフリー：1.5～15 kW] [油冷式　　　：7.5～15 kW]	0.7 ～ 3.5 ㎥/Hr 3.8 ～ 38 ㎥/Hr 20.5 ～ 47 ㎥/Hr	0.5 ～ 2.5 ㎥/Hr 2.7 ～ 27 ㎥/Hr 15 ～ 35 ㎥/Hr	0.3 ～ 1.9 ㎥/Hr 2.0 ～ 17 ㎥/Hr 10.5 ～ 23 ㎥/Hr	0.1 ～ 1.1 ㎥/Hr 1.2 ～ 10 ㎥/Hr 5.0 ～ 11 ㎥/Hr

【圧縮機別置き】	[該当圧縮機相当出力]		99.0％	99.9％	99.99％	99.999％
工場空気対応超小型PSA CNeco-W 普及版･小型PSA CNeco-Ｐ普及版･省エネ機中型PSA JSP 最高級･省エネ機中型PSA CNeco4 大型PSA CNeco-Z2～4a 超大型PSA CNeco-Z4,5,6a	[　 0.5 ～ 11 kW　] [　 5.5 ～ 55 kW　] [　15　～ 75 kW　] [　 7.5 ～ 75 kW　] [ 100　～ 150 kW ] [ 150　～ 435 kW ]		3.8 ～ 34 ㎥/Hr 22 ～ 171 ㎥/Hr 34 ～ 208 ㎥/Hr 19 ～ 278 ㎥/Hr 313 ～ 489 ㎥/Hr 558 ～ 1,250 ㎥/Hr	1.0 ～ 23 ㎥/Hr 15 ～ 119 ㎥/Hr 24 ～ 166 ㎥/Hr 16 ～ 210 ㎥/Hr 225 ～ 374 ㎥/Hr 390 ～ 880 ㎥/Hr	0.7 ～ 17 ㎥/Hr 10 ～ 85 ㎥/Hr 17 ～ 118 ㎥/Hr 12 ～ 165 ㎥/Hr 161 ～ 270 ㎥/Hr 279 ～ 629 ㎥/Hr	－ 6.5 ～ 44 ㎥/Hr 　－ 8 ～ 86 ㎥/Hr 96 ～ 163 ㎥/Hr 167 ～ 377 ㎥/Hr

窒素ガス発生装置（その他の方式）
- 膜式　窒素ガス発生装置 [ 　2.2　～ 45 kW ] 　　　　95％　　　 8 ～　155 ㎥/Hr　　　99.0％　2 ～ 57 ㎥/Hr
- 深冷式窒素ガス発生装置 [ 　130 kW　～　] 　　　　99.9999％　300 ㎥/Hr ～

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