その他のガス発生装置
水素発生装置
水素発生装置は、小型は水を直接電気分解して水素を発生し、中型以上は、バイオガス、メタノールや天然ガスを水蒸気改質した後にPSAで水素を分離精製します。
- 水電気分解(電解)法 ： H₂O → H₂ + O₂
- メタノール改質法 ： CH₃OH + H₂O → 3 H₂ + CO₂
- 水蒸気改質法 ： CH₄ + H₂O → 3 H₂ + CO
| Case - 1 | Case - 2 | Case - 3 | Case - 4 | |
| (電解) | (水蒸気改質) | |||
| 原料 | 純水 | バイオガス 消化ガス |
メタノール | 都市ガス LPG |
| H₂純度、露点 | 99.999%、 -70℃以下 @ 大気圧下 | |||
| H₂発生量 | 1 ～ 60 Nm³/Hr | 10 ～ 300 Nm³/Hr | 50 ～ 200 Nm³/Hr | 50 ～ 1,000 Nm³/Hr |
| H₂ 送出圧力 | ～0.37MPa ～0.82MPa |
0.7MPa | ||
- 【オンサイトガス】
- お客様のご使用場所で弊社の費用と責任で、安価のガスの供給、回収を行います
- 不足分、バックアップのガスを安価に供給します。
水 電気分解（電解）式 水素発生装置 の ラインアップ
| 型 式 | 水素発生量 Nm³/Hr＊１ |
供給圧力 MPa |
電源＊２ (設備容量) | 寸法(mm)＊３ | 概略質量 (kg) | ||
| 幅 | 奥行 | 高さ | |||||
| Ｈ₂BOX | 1 | 0.82 | 200V、3相 約 15kVA |
1,000 | 500 | 1,600 | 370 |
| ＣＨ(Ｌ)-５Ｄ | 5 | (0.37)L 0.82 |
- | - | - | - | - |
| ＣＨ(Ｌ)-１０Ｄ | 10 | (0.37)L 0.82 |
200V、3相 約 140 kVA |
1,500 | 2,600 | 1,950 | - |
| ＳＨ(Ｌ)-２０Ｄ | 20 | (0.37)L 0.82 |
200V、50/60Hz、3相 約 210 kVA |
2,000 | 4,000 | 2,500 | 8,000 |
| ＳＨ(Ｌ)-３０Ｄ | 30 | (0.37)L 0.82 |
- | - | - | - | - |
| ＳＨ(Ｌ)-４０Ｄ | 40 | (0.37)L 0.82 |
- | - | - | - | - |
| ＳＨ(Ｌ)-５０Ｄ | 50 | (0.37)L 0.82 |
- | - | - | - | - |
| ＳＨ(Ｌ)-６０Ｄ | 60 | (0.37)L 0.82 |
400V、50/60Hz、3相、約 590 kVA 200V、50/60Hz、3相、約 25 kVA |
8,000 | 2,200 | 2,700 | 17,000 |
※1製品水素の仕様は、H₂純度：99.999％、露点：-70℃@大気圧 です。 (酸素濃度計、露点計、質量流量計はオプションです。)
※2電源は、整流器と制御盤用の合計値です(SH-60Dを除く)。電気以外に、水道水、冷却水、計装空気、窒素ガスが必要です。詳細は、お問合せ下さい。
※3突起部は除きます。(この仕様は説明用の参考情報で、予告なく変更する場合があります。)
※設置環境は、5 ～ 35 ℃、30 ～ 75 %R.H.(結露しない事)、屋内(非防爆)、十分な換気下、粉塵、腐食性ガス、塩分等の通常の大気成分以外のガスを含まない環境です。
※電気品仕様は、非防爆です。
アルゴンガス回収装置(Ar-PSA)
アルゴンガス回収装置は、吸着剤が窒素、一酸化炭素、二酸化炭素などに比べてアルゴンの吸着量が小さい性質を利用します。アルゴン含有混合ガスを昇圧して吸着剤に供給すると、吸着塔の上部より高純度アルゴンガスが回収できます。
- 高純度アルゴンガス(99.9％以上)の回収が可能
- アルゴン回収率が70～80％と効率
用途例
- 各種排ガスからのアルゴンガスの回収
- 単結晶シリコン･ポリシリコン製造炉からの排ガス(以下Case-2、3)
- 鉄鋼RH炉からの排ガス 他
| 検討例 | Case - 1 | Case - 2 | Case - 3 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 製品 Ar 純度 | 99.5%以上 | 99.9%以上 | 99.999%以上 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 製品 Ar 流量 | 80 Nm³/Hr | 130 Nm³/Hr | 140 Nm³/Hr | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Ar 回収率 | ≥ 75% | ≥ 70% | ≥ 70% | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Ar 含有 排ガス成分(例) |
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ヘリウムガス回収装置(He-PSA)
ヘリウム(He)ガスは、天然ガス中の微量ガスとしてのみ産出され、産出国は偏在しています (米国、カタール、アルジェリアで埋蔵資源の約7割)。現状の供給国は、米国が約74％を締め、戦略物質的要因が強くなり、供給不安・価格上昇などのリスクがあります。
ヘリウムガス回収装置は、吸着剤が酸素、窒素、一酸化炭素、二酸化炭素などに比べてヘリウムの吸着量が小さい性質を利用します。ヘリウム含有混合ガスを昇圧して吸着剤に供給すると、吸着塔の上部より高純度ヘリウムガスが回収でき、資源の有効活用が可能になります。
- 5%程度の原料ガスHe濃度(空気混入が大)でも、高純度に精製可能！
- 右表(光ファイバー設備の回収例)のケースでは、高純度ヘリウムガス(99.999%以上)で回収！
その時のヘリウム回収率は、80%！
| 検討例 | Case - 1 | Case - 2 | ||||||||||||||||||
| 製品 He 純度 | 99.0 % | 99.999% | ||||||||||||||||||
| 製品 He 流量 | 2.7 Nm³/Hr | 12 Nm³/Hr | ||||||||||||||||||
| He 回収率 | ≥ 74% | ≥ 80% | ||||||||||||||||||
| 製品ガス成分(例) | ー |
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| 原料ガス | 36 Nm³/Hr 90％空気 |
60 Nm³/Hr 75％空気 |
