その他のガス発生装置
水素発生装置
水素発生装置は、バイオガス、メタノールや天然ガスを水蒸気改質した後にPSAで水素を分離精製します。
- メタノール改質法 ： CH₃OH + H₂O → 3 H₂ + CO₂
- 水蒸気改質法 ： CH₄ + H₂O → 3 H₂ + CO
- 従来のような大型外熱炉が不要となり、装置サイズがコンパクト化
- 改質器内にコーク（カーボン）の析出が起こらない
- NOx、SOxなど環境汚染物質を排出しない
- 水素精製にPVSA（真空再生方式）を採用し、水素回収率90％以上を実現
| 型式 | VH-10 | VH-20 | VH-30 | VH-40 | VH-50 | VH-100 |
| H₂発生量 Nm³/Hr | 40～ 100 | 80～ 200 | 120～ 300 | 160～ 400 | 200～ 500 | 400～1000 |
| H₂純度、露点 | 99～ 99.999%、 -60℃以下 @ 大気圧下 | |||||
| 原料 | 天然ガス(13A)、或いは、プロバンガス | |||||
| H₂ 送出圧力 | 0.7MPa | |||||
- 【オンサイトガス】
- お客様のご使用場所で弊社の費用と責任で、安価のガスの供給、回収を行います
- 不足分、バックアップのガスを安価に供給します。
アルゴンガス回収装置(Ar-PSA)
アルゴンガス回収装置は、吸着剤が窒素、一酸化炭素、二酸化炭素などに比べてアルゴンの吸着量が小さい性質を利用します。アルゴン含有混合ガスを昇圧して吸着剤に供給すると、吸着塔の上部より高純度アルゴンガスが回収できます。
- 高純度アルゴンガス(99.9％以上)の回収が可能
- 排ガス中の酸素･水素等の不純物ガス濃度が極小の場合は、アルゴン回収率が70～80％と効率 (排ガス中に大気が漏れ込んで来ない事が非常に重要です)
用途例
- 各種排ガスからのアルゴンガスの回収
- 単結晶シリコン･ポリシリコン製造炉からの排ガス(以下Case-2、3)
- 鉄鋼RH炉からの排ガス 他
| 検討例 | Case - 1 | Case - 2 | Case - 3 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 製品 Ar 純度 | 99.5%以上 | 99.9%以上 | 99.999%以上 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 製品 Ar 流量 | 80 Nm³/Hr | 130 Nm³/Hr | 140 Nm³/Hr | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Ar 回収率 | ≥ 75% | ≥ 70% | ≥ 70% | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Ar 含有 排ガス成分(例) |
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＊ 排ガス中への大気(窒素･酸素)漏洩が多く、特に酸素ガス等の不純物濃度が高くなると、Ar回収率は大幅に減少します。
装置検討スタートには、変動幅も含めた、排ガス組成(不純物)･流量･圧力･温度などの測定データが必要です。
ヘリウムガス回収装置(He-PSA)
ヘリウム(He)ガスは、天然ガス中の微量ガスとしてのみ産出され、産出国は偏在しています (米国、カタール、アルジェリアで埋蔵資源の約7割)。現状の供給国は、米国が約74％を締め、戦略物質的要因が強くなり、供給不安・価格上昇などのリスクがあります。
ヘリウムガス回収装置は、吸着剤が酸素、窒素、一酸化炭素、二酸化炭素などに比べてヘリウムの吸着量が小さい性質を利用します。ヘリウム含有混合ガスを昇圧して吸着剤に供給すると、吸着塔の上部より高純度ヘリウムガスが回収でき、資源の有効活用が可能になります。
- 5%程度の原料ガスHe濃度(空気混入が大)でも、高純度に精製可能！
- 右表(光ファイバー設備の回収例)のケースでは、高純度ヘリウムガス(99.999%以上)で回収！
その時のヘリウム回収率は、80%！
| 検討例 | Case - 1 | Case - 2 | ||||||||||||||||||
| 製品 He 純度 | 99.0 % | 99.999% | ||||||||||||||||||
| 製品 He 流量 | 2.7 Nm³/Hr | 12 Nm³/Hr | ||||||||||||||||||
| He 回収率 | ≥ 74% | ≥ 80% | ||||||||||||||||||
| 製品ガス成分(例) | ー |
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| 原料ガス | 36 Nm³/Hr 90％空気 |
60 Nm³/Hr 75％空気 |
＊ 装置検討スタートには、変動幅も含めた、排ガス組成(不純物)･流量･圧力･温度などの測定データが必要です。
(この仕様は説明用の参考情報で、予告なく変更する場合があります。最新情報はお問合せ下さい。)
